Phosphor nitride có thể được tạo ra từ phản ứng giữa phosphor(V) và các hợp chất nitơ (như amonia và natri azua):

3 PCl5 + 5 NH3 → P3N5 + 15 HCl3 PCl5 + 15 NaN3 → P3N5 + 15 NaCl + 5 N2

Những phương pháp tương tự cũng từng được dùng để điều chế bo nitride (BN) và silicon nitride (Si3N4);tuy nhiên những sản phẩm tạo ra thường không tinh khiết và vô định hình.[1][2]

Các mẫu tinh thể được sản xuất từ phản ứng giữa amoni chloride (NH4Cl) và hexachlorocyclotriphosphazene ((NPCl2)3)[3], hoặc phosphor pentachloride (PCl5).

(NPCl2)3 + 2 NH4Cl → P3N5 + 8 HCl3 PCl5 + 5 NH4Cl → P3N5 + 20 HCl

P3N5 cũng được điều chế trong môi trường nhiệt độ phòng, từ phản ứng giữa phosphor trichloride và natri amit.[4]

3 PCl3 + 5 NaNH2 → P3N5 + 5 NaCl + 4 HCl + 3 H2